微壓傳感器的工作原理是什么?微壓傳感器在測(cè)量的過(guò)程中壓力直接作用在傳感器的膜片上，然后再通過(guò)一系列的轉(zhuǎn)變，形成壓力的標(biāo)準(zhǔn)信號(hào)來(lái)測(cè)量的過(guò)程就是微壓傳感器的測(cè)量。

　　對(duì)于微壓傳感器來(lái)說(shuō)，靈敏度和線(xiàn)性度是微壓力傳感器最重要的兩個(gè)性能指標(biāo)。為了制作出能夠滿(mǎn)足實(shí)際應(yīng)用需求的傳感器，必需探索出一種微壓力傳感器靈敏度和線(xiàn)性度的有效仿真方法。實(shí)際的研究中，發(fā)現(xiàn)一種基于對(duì)壓阻式壓力傳感器薄膜表面應(yīng)力的有限元分析(FEA)和路徑積分的仿真方法。通過(guò)這一方法實(shí)現(xiàn)了在滿(mǎn)量程范圍內(nèi)不同壓力值下對(duì)傳感器電壓輸出值的精確估計(jì)，在此基礎(chǔ)上對(duì)壓力傳感器的靈敏度和線(xiàn)性度進(jìn)行了有效仿真。

　　微壓傳感器發(fā)展迅速，新研制出的一類(lèi)傳感器采用壓電單晶片結(jié)構(gòu)，并內(nèi)置前置放大器，通過(guò)放大器放大微弱信號(hào)并實(shí)現(xiàn)阻抗變換，從而使傳感器具有量程小、靈敏度高、抗干擾性好等特點(diǎn)。這類(lèi)傳感器已廣泛用于脈搏、管壁壓力波動(dòng)等微小信號(hào)的檢測(cè)。但與此同時(shí)，對(duì)于微壓傳感器精準(zhǔn)度的檢驗(yàn)這一技術(shù)難題，就迫切需要簡(jiǎn)便的測(cè)量裝置測(cè)量該類(lèi)型傳感器的性能。

　　根據(jù)力學(xué)原理，在角區(qū)存在應(yīng)力集中效應(yīng)，使硅膜在正面或背面受壓以后，角區(qū)會(huì)具有應(yīng)力的極值，因此破裂首先從該處發(fā)生。引入應(yīng)力勻散結(jié)構(gòu)以后，使角區(qū)變成具有一定曲率的圓角區(qū)，使該區(qū)的應(yīng)力極值下降。在硅膜與邊框或背島的交界處要形成有一定曲率半經(jīng)的緩變結(jié)構(gòu)，采用一般的常規(guī)各向異性濕法腐蝕是無(wú)法實(shí)現(xiàn)的。為此，采用了掩模-無(wú)掩模各向異性濕法腐蝕技術(shù)。