近日，“掃描探針顯微鏡漂移測(cè)量方法(ISO11039:2012)” 國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)已由國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)化組織正式發(fā)布。

該標(biāo)準(zhǔn)由中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué)工程科學(xué)學(xué)院黃文浩教授主持制訂，主要針對(duì)制約掃描探針顯微鏡在納米測(cè)量和納米加工方面的進(jìn)一步應(yīng)用的問題而制訂。掃描探針顯微鏡在納米測(cè)量和納米加工方面應(yīng)用時(shí)，經(jīng)常會(huì)遇到掃描速率較慢，漂移現(xiàn)象等制約。

黃文浩教授致力于為該問題提出解決方案，在2006年就向國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)化組織ISO/TC201提出了“掃描探針顯微鏡漂移速率測(cè)量方法標(biāo)準(zhǔn)”提案。自2007年該提案正式立項(xiàng)后，經(jīng)過數(shù)年的努力，該標(biāo)準(zhǔn)終于在2011年順利通過，并于近日正式發(fā)布。

該標(biāo)準(zhǔn)通過將掃描探針顯微鏡作時(shí)納米/秒的漂移大小和方向測(cè)量出來，從而規(guī)范儀器使用。該標(biāo)準(zhǔn)定義了漂移速率專業(yè)術(shù)語，以及SPM漂移速率的測(cè)量方法和測(cè)量程序，并對(duì)儀器功能等進(jìn)行規(guī)范。該標(biāo)準(zhǔn)為掃描探針顯微鏡生產(chǎn)廠家提供了規(guī)范。同時(shí)也使得掃描探針顯微鏡在納米級(jí)測(cè)量中的應(yīng)用突破瓶頸，范圍更加寬廣和深入，推動(dòng)納米測(cè)量技術(shù)的發(fā)展。